Для цитирования:

 ,  ,  ,  ,  ,  ,  ,  ,   . Наносистемы: физика, химия, математика. 2022;13(5):578-584. https://doi.org/10.17586/2220-8054-2022-13-5-578-584

For citation:

Lobaev M.A., Vikharev A.L., Gorbachev A.M., Radishev D.B., Arkhipova E.A., Drozdov M.N., Isaev V.A., Bogdanov S.A., Kukushkin V.A. Investigation of boron-doped delta layers in CVD diamond grown on single-sector HPHT substrates. Nanosystems: Physics, Chemistry, Mathematics. 2022;13(5):578-584. https://doi.org/10.17586/2220-8054-2022-13-5-578-584