Для цитирования:
Шалаев Р.В., Варюхин В.Н. Применение углеродных наноматериалов в полупроводниковой электронике. Наносистемы: физика, химия, математика. 2025;16(2):216-224. https://doi.org/10.17586/2220-8054-2025-16-2-216-224
For citation:
Shalayev R.V., Varyukhin V.N. Application of carbon nanomaterials in semiconductor electronics. Nanosystems: Physics, Chemistry, Mathematics. 2025;16(2):216-224. https://doi.org/10.17586/2220-8054-2025-16-2-216-224